製品ラインナップ

半導体ウエハー切削用スラリー中に含まれる砥粒と液体を回収・再使用することで、ランニングコスト廃棄物量を大幅に低減することが可能です。

スラリーリサイクルシステム装置の概要

①加工マシンから排出される使用済みスラリーを遠心分離機で分級し、砥粒を回収する。
②さらに遠心分離機で分級し分散剤を回収し、切り屑は破棄。
③回収した砥粒・分散剤を混合し、新スラリー（新しい砥粒・分散剤）を加えて再生スラリーを調合する。

◆高リサイクル公立の実現
砥粒及び溶媒（クーラント等）の回収率は80％以上
※スラリー性状により変動
◆全自動運転によるノンオペレーション稼働
◆ユニット設計でカスタムレイアウト可能
設置スペースに応じ、レイアウトの検討・ご提案ができます。

【リサイクル事例】
半導体シリコン用スラリー
半導体特殊材料（レアメタル）用スラリー
太陽電池シリコン用スラリー
ガラス研磨用スラリー

参照：砥粒回収システム 製品情報 機械事業 | 巴工業株式会社 (tomo-e.co.jp)

◆有価物の回収・再利用
液中の有価物（レアメタル等）を濃縮液として回収します。
研削に使用した液の再利用が可能です。
◆回収物に応じた運用管理
膜にかかる圧力を検知し、安定ろ過をします。
回収物に応じたろ過時間、逆洗時間を設定可能です。
◆ユニット設計でカスタムレイアウト可能

【リサイクル事例】
半導体研削廃水、研磨廃水

参照：セラミック平膜システム | 水処理製品 | 明電舎 (meidensha.co.jp)

◆有価物の回収・再利用
蒸発した溶媒を冷却し、回収・再利用も可能です。
◆廃液の減容化
産廃コストの大幅な低減ができます。
◆熱源に蒸気を使用
減圧濃縮の為、低圧熱源（廃蒸気）利用も可能です。
◆全自動運転によるノンオペレーション稼働
濃縮倍率を自動制御・管理し過濃縮や濃縮不足を防止します。
タッチパネル操作で専門性を有する日常作業は必要ありません。
◆ユニット設計でカスタムレイアウト可能
設置スペースに応じ、レイアウトの検討・ご提案ができます。

◆音楽噴水システムの構築
噴水全体のご提案、ライトやスピーカーのご提案が可能です。
◆水姿、ライティングのプログラム
音楽に合わせた水姿、ライティングを構築します。音楽のイメージやご要望に応じたイメージを噴水で表現することが可能です。
◆稼働時間や天候に応じたセッティング
音楽噴水を実施したい時間や、天候に応じた実施ができるよう設定可能です。

【導入事例】
碧南市臨海公園音楽噴水